| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Вакуумные технологии и оборудование | 0 |
| 1. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника : [учебник для вузов по специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение"] / Л.Н. Розанов. — Москва : Высшая школа, 1982. — 206, [1] c. : ил. — (Высшее образование) : 0.45. | 1.00 |
| 2. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника : [учебник для вузов по специальности "Электронное машиностроение" направления "Электроника и микроэлектроника"] / Л.Н. Розанов. — Изд. 3-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 2007. — 391 с. : ил. — (Для высших учебных заведений. ) . — ISBN 5-06-005521-4 : 71744.00. | 1.00 |
| 3. Вакуумная техника : Справочник / Е.С. Фролов. — 2-е изд., перераб. и доп. — Москва : Машиностроение, 1992. — 471 с. : ил. — Режим доступа : https://elib.bntu.by/handle/data/897. — Авт. указаны на обор. тит. л. — ISBN 5-217-01409-1 : 78000.00. | 1.00 |
| 4. Шешин, Е.П. Вакуумные технологии : [учебное пособие] / Е.П. Шешин. — Долгопрудный : Интеллект, 2009. — 502 с. : ил. — (Физтеховский учебник) . — ISBN 978-5-915590-12-9 : 106248.00. | 1.00 |
| 5. Данилин, Б.С. Основы конструирования вакуумных систем / Б.С. Данилин. — Москва : Энергия, 1971. — 392 с. : ил. : 1.27. | 1.00 |
| 6. Справочник по вакуумной технике и технологиям : пер. с / Д. Хоффман. — Москва : Техносфера, 2011. — 735 с. : ил., табл. — (Мир радиоэлектроники ; XVII) . — ISBN 978-5-948362-94-6 : 375199.00. | 1.00 |
|