Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Швец, В.А. - Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии
Швец, В.А. - Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии
Статья
Автор: Швец, В.А.
Микроэлектроника: Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Швец, В.А.
Микроэлектроника: Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Швец, В.А.
Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии / В.А. Швец, Д.В. Гриценко, В.Ш. Алиев, С.И. Чикичев, С.В. Рыхлицкий // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук, Отделение информационных технологий и вычислительных систем. – 2004. – T.33 N5. – С.352-358.
621.315.592
общий = БД Техника
общий = ПОЛУПРОВОДНИКИ
Швец, В.А.
Дисперсия оптических констант тонких аморфных пленок Та О по данным спектроэллипсометрии / В.А. Швец, Д.В. Гриценко, В.Ш. Алиев, С.И. Чикичев, С.В. Рыхлицкий // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук, Отделение информационных технологий и вычислительных систем. – 2004. – T.33 N5. – С.352-358.
621.315.592
общий = БД Техника
общий = ПОЛУПРОВОДНИКИ