Электронный каталог НБ БНТУ

Статья

Мармыш, Д.Е.
Анализ особенностей напряженно-деформированного состояния тонкой пластины кремния при ее лезвийной обработке / Д. Е. Мармыш, В. Л. Басинюк, И. Д. Тычинская // Механика машин, механизмов и материалов. – 2026. – № 2. – С. 71-79.

В работе рассмотрено моделирование напряженно-деформированного состояния (НДС) тонкой кремниевой пластины при ее лезвийной обработке резцом из кубического нитрида бора. Сформулирована математическая модель НДС системы, а также модель контактного взаимодействия между пластиной и резцом. Решение механико-математической модели проводится с помощью метода конечных элементов в программном комплексе ANSYS Workbench. Проведен анализ распределения полей напряжений в области контактного взаимодействия для различных величин срезаемого припуска пластины. Установлены закономерности, связывающие величину припуска с возникающими при обработке нормальными напряжениями. Их анализ показал, что при уменьшении величин срезаемого припуска с 20 до 1,5 мкм нормальные напряжения также снижаются. Это может быть связано с тем, что при относительно малых глубинах резания угол наклона отрезка контактного взаимодействия между пластиной и резцом к оси х уменьшается и влияние на напряженное состояние напряжений σxx также уменьшается, а одновременно с этим возрастает влияние напряжений σyy. Представлены данные о проведении экспериментальной обработки трех образцов кремниевой пластины с заданными режимами резания. Численный разброс значений средней шероховатости Ra для всех образцов варьируется в диапазоне 0,25-0,55 мкм, образец с наибольшей величиной припуска имеет наибольшее численное значение по всем представленным характеристикам. Показаны логарифмическая шкала с наложением средних величин по характеристикам Ra, Rq, Rsk, Rku, математическая реконструкция 3D-рельефа по параметрам Rsk, Rku и соотношение номинальной к полной площади.

621.91.01

общий = БД Техника
общий = ЛЕЗВИЙНАЯ ОБРАБОТКА
общий = НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ