Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Реутская, Ольга Геннадьевна - Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов
Реутская, Ольга Геннадьевна - Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов
Книга (аналит. описание)
Автор: Реутская, Ольга Геннадьевна
Приборостроение - 2025: Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов
Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Реутская, Ольга Геннадьевна
Приборостроение - 2025: Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов
Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Реутская, Ольга Геннадьевна.
Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов = Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, Д. Ю. Луданик [и др.] // Приборостроение - 2025 = Instrumentation engineering - 2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь / редакционная коллегия: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 459-460. – URL: https://rep.bntu.by/handle/data/162725.
В работе рассматривается использование лазерной обработки кремния для создания высокочувствительных датчиков угла наклона и газового микроанализа. Проведён анализ технологических особенностей формирования и её влияния на параметры сенсоров.
The work considers the use of laser treatment of silicon to create high-sensitivity angle sensors and gas microanalysis. The analysis of technological formation and its influence on sensor parameters was carried out.
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2025г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Экспериментальная и теоретическая физика"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
общий = ДАТЧИКИ
общий = МИКРОАНАЛИЗ
общий = ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
общий = ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = КРЕМНИЙ
Реутская, Ольга Геннадьевна.
Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов = Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, Д. Ю. Луданик [и др.] // Приборостроение - 2025 = Instrumentation engineering - 2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь / редакционная коллегия: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 459-460. – URL: https://rep.bntu.by/handle/data/162725.
В работе рассматривается использование лазерной обработки кремния для создания высокочувствительных датчиков угла наклона и газового микроанализа. Проведён анализ технологических особенностей формирования и её влияния на параметры сенсоров.
The work considers the use of laser treatment of silicon to create high-sensitivity angle sensors and gas microanalysis. The analysis of technological formation and its influence on sensor parameters was carried out.
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2025г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Экспериментальная и теоретическая физика"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
общий = ДАТЧИКИ
общий = МИКРОАНАЛИЗ
общий = ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
общий = ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = КРЕМНИЙ
Привязано к:
Доступно
1 из 2
Книга
Приборостроение - 2025: материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь
Instrumentation engineering - 2025
БНТУ, 2025 г.
ISBN 9789853102352
ОХОФ, Выставка Трудов работников БНТУ
Приборостроение - 2025: материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь
Instrumentation engineering - 2025
БНТУ, 2025 г.
ISBN 9789853102352
ОХОФ, Выставка Трудов работников БНТУ