Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра = Strength properties of diazoquinonenovolac photoresist FP9120 films implanted with silver ions / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Черный [и др.] // Приборостроение - 2023 = Instrumentation engineering ― 2023: материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15―17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / [редколлегия: О. К. Гусев (председатель) и др.]. – Минск: БНТУ, 2023. – С. 290-291. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/138533.

Методом микроиндентировния исследованы пленки позитивного диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120 толщиной 1,8 мкм, имплантированные ионами Ag+ c энергией 30 кэВ в интервале доз 2,5  1016–1,0  1017 cм–2 на имплантаторе ИЛУ-3. Сформированный при ионной имплантации Ag+ карбонизированный слой подавляет эффект восстановления отпечатка при индентировании. После длительного хранения (более 3 лет) пленка изменяет свои прочностные свойства и ведет себя как твердое (непластичное) тело, что обусловлено сшиванием молекул фенолформальдегидной смолы, снижающим подвижность молекул в условиях внешнего воздействия.

621.383.4

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2023г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Экспериментальная и теоретическая физика"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ФОТОРЕЗИСТЫ
общий = ПЛЕНКИ
общий = ПРОЧНОСТЬ
общий = ИОНЫ
общий = СЕРЕБРО
общий = ИНДЕНТИРОВАНИЕ
общий = МИКРОТВЕРДОСТЬ