Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Анисович, А.Г.
Исследование структуры полупроводниковой фазы силицида титана = Study of the structure of the semiconductor phase of titanium silicide / А. Г. Анисович, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Приборостроение - 2024 = Instrumentation engineering - 2024: Материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск: Интегралполиграф, 2024. – С. 388-389. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/153166.

Представлены результаты исследования структуры и фазового состава пленок силицидов титана. Установлено, что быстрая термическая обработка (Т = 580–620°С, время 30 с) с использованием галогенных ламп позволяет сформировать слой дисилицида титана в модификации С49.
The results of the study of the structure and phase composition of titanium silicide films are presented. It has been established that rapid heat treatment (T = 580°–620°C, time 30 s) using halogen lamps allows the formation of a layer of titanium disilicide in the C49 modification.

549.2

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2024г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Химия. Химические науки. Химическая технология. Деревообработка (труды)
общий = СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
общий = ГАЛОГЕННЫЕ ЛАМПЫ
общий = ОТЖИГ