Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Снижение неравномерности магнитного поля протяженной магнетронной распылительной системы с вращающимся цилиндрическим катодом = Reducing the nonuniformity of the magnetic field in an extended magnetron sputtering system with a rotating cylindrical cathode / И. А. Сечко, В. М. Комаровская, А. С. Пологов, О. И. Терещук // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: сборник научных трудов: в 3 кн. / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси"; [редколлегия: В. Г. Залесский (главный редактор) и др.]. – Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2023. - Кн. 2 : Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. – 2023. – С. 225-235. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/153993. - Книги нет в фонде библиотеки.

Проведено исследование распределения напряженности магнитного поля над поверхностью магнитной системы цилиндрического магнетрона. Показано, что применение шунтирующей накладки из магнитной стали марки SUS 420 J2 позволяет повысить однородность получаемого магнитного поля, что непосредственно влияет на равномерность напыляемых покрытий. При этом толщина накладки не влияет на ее выравнивающую способность, а с увеличением ее толщины снижается величина магнитной индукции над магнитными полюсами. Результаты физико-математического моделирования подтверждены экспериментально.

621.793

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2023г.
труды сотрудников БНТУ = Инженерно-педагогический факультет : кафедра "Вакуумная и компрессорная техника"
труды сотрудников БНТУ = Металлообработка. Термообработка (труды)
общий = МАГНИТНЫЕ ПОЛЯ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = МАГНЕТРОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ