Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Двухсенсорная газовая микросистема на наноструктурированной платформе для мониторинга окружающей среды = Dual-sensory gas microsystem on nanostructured platform for environmental monitoring / И. А. Таратын, О. Г. Реутская, Г. Г. Горох, В. С. Федосенко // Приборостроение - 2023 = Instrumentation engineering ― 2023: материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15―17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / [редколлегия: О. К. Гусев (председатель) и др.]. – Минск: БНТУ, 2023. – С. 421-422. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/138607.

Представлены результаты исследований исследований электрофизических свойств и функциональных характеристик микросенсоров с металлоксидными газочувствительными слоями, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия и тонких мембранах. Представленные результаты показали реальную перспективность изготовления маломощных тонкопленочных микросистем на нанопористых профилированных подложках для газоанализа, состоящих из нескольких микромощных сенсоров, которые обеспечивают регистрацию низких концентраций нескольких горючих или токсичных газов.
The results of the electrical properties and functional characteristics studies of microsensors with metal oxide gas-sensitive layers manufactured on nanoporous alumina substrates and thin membranes are presented. The obtained results showed the real promise of low-power thin-film microsystems manufacturing on nano-porous profiled substrates for gas analysis, consisting of several micro-power sensors that provide registration of low concentrations of several flammable or toxic gases.

621.317.39.08

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2023г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Инженерная математика"
общий = СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
общий = ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ
общий = МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
общий = ПОДЛОЖКИ
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)