Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Щербакова, Елена Николаевна.
Комплексные исследования тонкопленочных систем на основе Fe-Si при отжиге в плазме = Complex investigations of thin-film systems based on Fe-Si by plasma annealing / Е. Н. Щербакова [и др.] // Приборостроение - 2022 = Instrumentation engineering ― 2022: материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16—18 ноября 2022 г., Минск, Республика Беларусь / [редколлегия: О. К. Гусев (председатель) и др.]. – Минск: БНТУ, 2022. – С. 465-466. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/124672. – На рус. яз.

Представлены результаты комплексных исследований методами электронографии и атомносиловой микроскопии тонкопленочных систем на основе железа и кремния при отжиге в плазме дугового разряда. Определены оптимальные режимы обработки для формирования пленок дисилицида железа ß- модификации.
The results of complex studies using electronography and atomic force microscopy of thin-film systems based on iron and silicon during treatment in an arc discharge plasma are presented. Optimal treatment modes for the formation of thin films of iron disilicide of beta modification have been determined.

539.23

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2022г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = СИЛИЦИДЫ
общий = АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ