Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Камлюк, В.С. - Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
Камлюк, В.С. - Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
Книга
Автор: Камлюк, В.С.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника"
Серия: Профессиональное образование
Издательство: РИПО, 2022 г.
ISBN 9789858950323
Автор: Камлюк, В.С.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника"
Серия: Профессиональное образование
Издательство: РИПО, 2022 г.
ISBN 9789858950323
Заказать 
На полку
Книга
621.3 К18
Камлюк, В.С.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники: пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника" / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. – Минск: РИПО, 2022. – 266 с.: ил., табл., схемы. – (Профессиональное образование) . - Содерж.: Оборудование для изготовления фотошаблонов ; Технологическая схема изготовления фотошаблонов ; Генератор изображений лазерный многоканальный ЭМ-5289 ; Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-6329 ; Установка лазерного устранения дефектов шаблонов ЭМ-5001 ; Фотоповторитель ЭМ-5062М ; Установка контактного размножения металлизированных и эмульсионных фотошаблонов ЭМ-583 ; Установка отмывки шаблонов УОФ 153А (ЩЦМЗ.189.001) ; Оборудование для совмещения и экспонирования ; Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026АМ ; Установка совмещения и проекционного экспонирования Nikon NSR-2005i8A ; Оборудование для обработки пластин в плазме ; Установка ионно-плазменного травления GIR-260 ; Установка группового плазмохимического травления полупроводниковых пластин 08ПХТ-150/6-006М2 ; Оборудование для получения диэлектрических и поликристаллических слоев ; Горизонтальная диффузионная печь SVFUR-FP ; Модульная вертикальная печь А400ХТ ; Стационарный одноканальный измеритель микровлажности газов (гигрометр) ИВГ-1-С-2А ; Установка осаждения диэлектрических слоев «Изоплаз-150» ; Установка термокомпрессионного окисления в парах воды «Термоком-М» ; Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «Изотрон 4-150» ; Оборудование для сборки и заключительных операций производства интегральных схем ; Установка монтажа кристаллов в корпус 2100 xP/sD/FC Besi ; Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085-14М ; Системы плазменной очистки YES-G ; Установка шариковой микросварки проволочных выводов IConn ; Кластерная система прессования на основе мехатронных модулей Fico AMS-i 306 ; Зондовая установка ЭМ-6190А ; Стенд для проведения электротермотренировки. - ISBN 9789858950323: 13.60.
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.
ГРНТИ 47.33.31
ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 47.01.83
ГРНТИ 47.01.33
621.382.049.77-027.3:658.274(075.32)
гриф = есть : Республика Беларусь
общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = ТЕХНИЧЕСКАЯ ЭКСПЛУАТАЦИЯ
общий = НАЛАДКА
621.3 К18
Камлюк, В.С.
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники: пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника" / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. – Минск: РИПО, 2022. – 266 с.: ил., табл., схемы. – (Профессиональное образование) . - Содерж.: Оборудование для изготовления фотошаблонов ; Технологическая схема изготовления фотошаблонов ; Генератор изображений лазерный многоканальный ЭМ-5289 ; Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-6329 ; Установка лазерного устранения дефектов шаблонов ЭМ-5001 ; Фотоповторитель ЭМ-5062М ; Установка контактного размножения металлизированных и эмульсионных фотошаблонов ЭМ-583 ; Установка отмывки шаблонов УОФ 153А (ЩЦМЗ.189.001) ; Оборудование для совмещения и экспонирования ; Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026АМ ; Установка совмещения и проекционного экспонирования Nikon NSR-2005i8A ; Оборудование для обработки пластин в плазме ; Установка ионно-плазменного травления GIR-260 ; Установка группового плазмохимического травления полупроводниковых пластин 08ПХТ-150/6-006М2 ; Оборудование для получения диэлектрических и поликристаллических слоев ; Горизонтальная диффузионная печь SVFUR-FP ; Модульная вертикальная печь А400ХТ ; Стационарный одноканальный измеритель микровлажности газов (гигрометр) ИВГ-1-С-2А ; Установка осаждения диэлектрических слоев «Изоплаз-150» ; Установка термокомпрессионного окисления в парах воды «Термоком-М» ; Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «Изотрон 4-150» ; Оборудование для сборки и заключительных операций производства интегральных схем ; Установка монтажа кристаллов в корпус 2100 xP/sD/FC Besi ; Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085-14М ; Системы плазменной очистки YES-G ; Установка шариковой микросварки проволочных выводов IConn ; Кластерная система прессования на основе мехатронных модулей Fico AMS-i 306 ; Зондовая установка ЭМ-6190А ; Стенд для проведения электротермотренировки. - ISBN 9789858950323: 13.60.
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.
ГРНТИ 47.33.31
ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 47.01.83
ГРНТИ 47.01.33
621.382.049.77-027.3:658.274(075.32)
гриф = есть : Республика Беларусь
общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = ТЕХНИЧЕСКАЯ ЭКСПЛУАТАЦИЯ
общий = НАЛАДКА