Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 З-48

Зеленин, В.А.
Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин; Национальная академия наук Беларуси, Физико-технический институт. – Минск: Беларуская навука, 2022. – 289, [1] с.: ил., цв. ил., табл. - На переплете: Белорусская академическая наука ― 100. 1922―2022. - ISBN 9789850828750: 22.90.

Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС.

ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 47.13.07
ГРНТИ 47.09
ГРНТИ 29.19.01
ГРНТИ 81.09.03
621.38-022.532
621.382.049.77-027.3
621.38-03

общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
общий = СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ
общий = СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
общий = ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
общий = ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
общий = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ СИСТЕМЫ
общий = РЕЗИСТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = ТОКОПРОВОДЯЩИЕ СИСТЕМЫ