Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Николаева, Т.А.
Эллиптический емкостной микродатчик давления = Elliptical capacitive pressure microsensor / Т. А. Николаева, И. А. Таратын, С. А. Чижик // Приборостроение - 2021 = Instrumentation engineering ― 2021: материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17—19 ноября 2021 г., Минск, Республика Беларусь / [редколлегия: О. К. Гусев (председатель) и др.]. – Минск: БНТУ, 2021. – С. 316-317. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/109558. – На рус. яз.

Емкостной датчик давления состоит из подвижной мембраны, которая вызывает изменение емкости для приложенного давления. Для достижения высокой чувствительности используется тонкая мембрана большой площади с небольшим разделительным зазором между мембраной и металлическим контактом. Это приводит к нелинейности, уменьшает динамический диапазон измерений и увеличивает размер датчика. Таким образом, оптимальная конструкция датчика необходима для достижения баланса между этими компромиссами.
A capacitive pressure sensor consists of a moving diaphragm that causes a change in capacitance for the applied pressure. To achieve high sensitivity, a thin, large area diaphragm with a small separation gap between the diaphragm and the metal contact is used. This results in non-linearity, reduces the dynamic range of the measurement and increases the size of the sensor. Thus, optimal sensor design is needed to achieve a balance between these tradeoffs.

681.586

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2021г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроение. Ювелирное дело (труды)
общий = ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ
общий = ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ