Электронный каталог НБ БНТУ

Статья

Радиационная стойкость многослойных наноструктурированных покрытий нк-ZrN/a-ZrCu, облученных ионами гелия / В. В. Углов [и др.] // Механика машин, механизмов и материалов / гл. ред. С.Н. Поддубко; учредитель Объединенный институт машиностроения (Минск). – 2022. – №4. – С. 53-60. – На рус. яз.

Представлены результаты радиационной эрозии поверхности и эволюции напряжений многослойных покрытий, состоящих из керамических слоев ZrN и металлического стекла (Zr-Cu), при ионном He2+ облучении с энергией 40 кэВ и флюенсами от 5·1016 до 1,1·1018 см−2. Многослойные покрытия нк-ZrN/а-Zr1−хCuх с толщиной элементарного слоя 5 нм/5 нм и 5 нм/10 нм сформированы методом реактивного магнетронного распыления с различным содержанием меди Сu (х = 0,45; 0,53; 0,61 и 0,74). Распыление происходило из мишеней Zr и Cu при температуре подложки T = 300 °С. Поверхность пленок оставалась стабильной вплоть до флюенса 5·1017 см−2. Выявлено, что с повышением флюенса ионов радиационная эрозия поверхности развивается по механизму флекинга. Установлено, что увеличение толщины аморфного слоя и содержания Сu повышают стойкость к облучению (критический флюенс увеличивается от 5·1017 до 8·1017 см−2). Облучение ионами гелия He приводит к снижению уровня сжимающих напряжений. Снижение уровня напряжений в многослойных пленках связано с эффектами изменения микроструктуры слоев (искривление формы) при дозе 2·1017 см−2 и радиационной эрозии при дозе 8·1017 см−2.

621.793.18

общий = БД Техника
общий = МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = НАНОПОКРЫТИЯ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ