Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров = Nanoporous anodic aluminum oxide in the construction of gas sensors / Г. Г. Горох [и др.] // Наноструктурные материалы: технологии, свойства, применение : сборник научных статей / под ред. В. А. Лабунова, В. С. Урбановича, Е. Н. Шлома ; Национальная академия наук Беларуси, Научно-практический центр по материаловедению. – Минск: Белорусская наука, 2017. – С. 270-279. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/93908. - Книги нет в фонде библиотеки. – На рус. яз.

Газовые микросенсоры относятся к устройствам, позволяющим проводить анализ концентрации того или иного химического компонента в смеси газов. Использование наноструктурированного анодного оксида алюминия в конструкциях микросенсоров дает возможность создавать на поверхности подложек высокоразвитые структуры или рельефы для последующего нанесения чувствительных слоев газового сенсора, снижать потребляемую мощность, повышать адгезионные свойства полученных подложек и структур. В результате проведенных работ разработаны конструкции и технологии изготовления полупроводниковых высокочувствительных газовых сенсоров и мультисенсорных микросистем с низким энергопотреблением на основе подложек и мембран из нанопористого оксида алюминия, гироскопического сенсора, макетного образца микросистемы «электронный нос» с преконцентратором. Исследования газочувствительных свойств микросенсоров были выполнены при разных режимах измерения.

681.2.082:53.082.7

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2017г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Инженерная математика"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроение. Ювелирное дело (труды)
общий = ОКСИД АЛЮМИНИЯ
общий = ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
общий = ПОДЛОЖКИ
общий = СЕНСОРНЫЕ СИСТЕМЫ (робототехн.)
общий = НАНОПОРИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ