Электронный каталог НБ БНТУ

Статья

Fedosyuk, V.M.
Influence of electrodeposition parameters on structure and micromechanical properties of thin ni-fe films = Влияние параметров электролитического осаждения на структуру и микромеханические свойства пленок ni-fe / V. M. Fedosyuk, T. I. Zubar, A. V. Trukhanov. – DOI 10.29235/1561-8358-2020-65-2-135-144 // Весцi Нацыянальнай акадэмii навук Беларусi.Серыя фiзiка-тэхнiчных навук / гл. ред. С.А. Чижик; учредитель Национальная академия наук Беларуси (Минск). – 2020. – Т.65 N2. – P. 135-144. – На англ. яз.

The correlation between the synthesis modes, chemical composition, crystal structure, surface microstructure, and also the mechanical properties of thin nanostructured Ni - Fe films has been studied. Thin Ni-Fe films on the Si with Au sublayer were obtained using electrolyte deposition with different current modes: direct current and three pulsed modes with pulse duration of 1 s, 10-3 and 10-5 s. It is shown that a decrease in the pulse duration to 10-5 s leads to an increase in the film elastic modulus and the hardness due to the small grain size and a large number of grain boundaries with increased resistance to plastic deformation. The effect of heat treatment at 100, 200, 300, and 400 °C on the surface microstructure and micromechanical properties of the films was investigated. An increase in grain size from 6 to 200 nm was found after heat treatment at 400 °C which, in combination with interfusion processes of the half-layer material, led to a significant decrease in hardness and elastic modulus. Ni-Fe films with improved mechanical properties can be used as coatings for microelectronic body for their electromagnetic protection.
Проведены исследования корреляции между режимами синтеза, химическим составом, кристаллической структурой и микроструктурой поверхности, а также механическими свойствами тонких наноструктурированных пленок Ni-Fe. Тонкие пленки Ni-Fe были получены в различных режимах электролитического осаждения: в режиме постоянного тока и в импульсных режимах с длительностью импульса 1 с, 10-3 и 10-5 с. Показано, что уменьшение длительности импульса до 10-5 с приводит к увеличению модуля упругости и твердости пленок благодаря малому размеру зерна и, соответственно, большому количеству границ зерен с повышенным сопротивлением пластической деформации. Исследовано влияние термической обработки при T = 100, 200, 300 и 400 °С на микроструктуру поверхности и микромеханические свойства пленок. После термообработки при 400 °С наблюдалось увеличение размера зерна от 6 до 200 нм, что в сочетании с процессами взаимодиффузии материала подслоя и пленки привело к значительному снижению твердости и модуля упругости. Пленки Ni-Fe с улучшенными механическими свойствами могут быть использованы как покрытия корпусов микроэлектроники для электромагнитной их защиты.

621.793.3

общий = БД Техника
общий = ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
общий = НАНОПЛЕНКИ
общий = МИКРОМЕХАНИКА
общий = КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
общий = НАНОСТРУКТУРНОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ