Электронный каталог НБ БНТУ

Электронный ресурс

Разработка конструкции и моделирование физико-механических свойств металлического тонкопленочного микронагревателя, размещенного на диэлектрической многослойной мембране в рамках задания "Моделирование физико-механических свойств элементов МЭМС, разработка и исследование конструкции и технологии изготовления элементов микроэлектромеханических систем сенсорных нано- и микроэлектронных устройств, электронных модулей для многофункциональных контрольно-измерительных и диагностических систем" [Электронный ресурс] / Белорусский национальный технический университет; рук. О. Г. Реутская; исполн.: О. Г. Реутская [и др.]; соисполн.: В. И. Жукалов. – Электрон. дан. – Минск: [б. и.], 2018. – 1 электрон. опт. диск (CD-R). - № ГР 20162356. – Систем. требования: IBM PC - совместимый ПК ; Windows XP и выше ; CD-ROM дисковод ; мышь. – Загл. с титул. экрана.

621.314-181.4
621.382.049.77

общий = НАГРЕВАТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = НАНОПОКРЫТИЯ
общий = МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.)
общий = МЕМБРАНЫ (техн.)
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
общий = ОКСИД АЛЮМИНИЯ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ