Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров...
Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров...
Экз. чит. зала
Электронный ресурс
Автор:
Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров... : отчет о НИР (заключительный)
Издательство: [б. и.], 2018 г.
ISBN отсутствует
Автор:
Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров... : отчет о НИР (заключительный)
Издательство: [б. и.], 2018 г.
ISBN отсутствует
На полку
Электронный ресурс
Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин в рамках задания "Разработка и внедрение новых методов исследований элементного состава, микроструктуры, электрофизических и геометрических параметров изделий микроэлектроники и их отдельных элементов на основе высоколокальных процессов пробоподготовки, нанозондирования, электрофизических комплексов, электронной и оптической микроскопии" [Электронный ресурс] : отчет о НИР (заключительный) : ГБ 16-40 / Белорусский национальный технический университет ; рук. Жарин А. Л. ; исполн.: Владимирова Т. Л. [и др.]. – Электрон. дан. – Минск : [б. и.], 2018. – 1 электрон. опт. диск (CD-R). – № ГР 20161782. – Систем. требования: IBM PC - совместимый ПК ; Windows XP и выше ; CD-ROM дисковод ; мышь. – Загл. с титул. экрана.
621.315.592:620.179.1
620.191.4
535.215
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
общий = НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
общий = ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ
общий = ЭЛЕКТРОМЕТРИЯ
общий = ФОТОЭДС
общий = ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)
Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин в рамках задания "Разработка и внедрение новых методов исследований элементного состава, микроструктуры, электрофизических и геометрических параметров изделий микроэлектроники и их отдельных элементов на основе высоколокальных процессов пробоподготовки, нанозондирования, электрофизических комплексов, электронной и оптической микроскопии" [Электронный ресурс] : отчет о НИР (заключительный) : ГБ 16-40 / Белорусский национальный технический университет ; рук. Жарин А. Л. ; исполн.: Владимирова Т. Л. [и др.]. – Электрон. дан. – Минск : [б. и.], 2018. – 1 электрон. опт. диск (CD-R). – № ГР 20161782. – Систем. требования: IBM PC - совместимый ПК ; Windows XP и выше ; CD-ROM дисковод ; мышь. – Загл. с титул. экрана.
621.315.592:620.179.1
620.191.4
535.215
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
общий = НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
общий = ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ
общий = ЭЛЕКТРОМЕТРИЯ
общий = ФОТОЭДС
общий = ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ЧЗ НР | 1 | - | 1 | Недоступно |