Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Галперин, В.А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Галперин, В.А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Книга
Автор: Галперин, В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Серия: Нанотехнологии
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 9785996300327
Автор: Галперин, В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Серия: Нанотехнологии
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 9785996300327
Заказать 
На полку
Книга
620.3 Г16
Галперин, В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие: для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией С. П. Тимошенкова. – Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. – 283 с.: ил., табл., схемы. – (Нанотехнологии) . - ISBN 9785996300327: 22.18.
ГРНТИ 47.13.07
ГРНТИ 47.09.48
ГРНТИ 31.15.30
620.3:621.794.44(075.8)
621.382.049.77-027.3:621.794.44(075.8)
гриф = есть : Российская Федерация
общий = НАНОТЕХНОЛОГИИ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
620.3 Г16
Галперин, В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие: для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией С. П. Тимошенкова. – Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. – 283 с.: ил., табл., схемы. – (Нанотехнологии) . - ISBN 9785996300327: 22.18.
ГРНТИ 47.13.07
ГРНТИ 47.09.48
ГРНТИ 31.15.30
620.3:621.794.44(075.8)
621.382.049.77-027.3:621.794.44(075.8)
гриф = есть : Российская Федерация
общий = НАНОТЕХНОЛОГИИ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ОХОФ | 1 | 1 | 1 | Заказать |