Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации
Книга
Автор:
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы"
Издательство: БГУИР, 2017 г.
ISBN 9789855432495
Автор:
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы"
Издательство: БГУИР, 2017 г.
ISBN 9789855432495
Заказать 
На полку
Книга
621.3 Б17
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / [Ю. А. Родионов и др.]; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. – Минск: БГУИР, 2017. – 69, [2] с.: ил. - ISBN 9789855432495: 3.20.
ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 47.01.33
621.382.049.77-027.3:763(075.8)
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
общий = МИКРОЛИТОГРАФИЯ
621.3 Б17
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации: учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / [Ю. А. Родионов и др.]; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. – Минск: БГУИР, 2017. – 69, [2] с.: ил. - ISBN 9789855432495: 3.20.
ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 47.01.33
621.382.049.77-027.3:763(075.8)
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
общий = МИКРОЛИТОГРАФИЯ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ОХОФ | 1 | 1 | 1 | Заказать |