Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 Т38

Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А.П. Достанко, С.В. Бордусов, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, В.В. Колос, А.Н. Купо, В.Л. Ланин, М.С. Лушакова, С.И. Мадвейко, С.Н. Мельников, А.Н. Петлицкий, И.Б. Петухов, В.А. Солодуха, Е.В. Телеш; под ред. А.П. Достанко; кол. авт. Национальная академия наук Беларуси (Минск), Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск). – Минск: Беларуская навука, 2018. – 269, [1] с.: ил., табл., граф. - На пер.: Национальная академия наук Беларуси - 90 лет. - ISBN 978-985-08-2298-7: 18.60.

ГРНТИ 47.13.11
621.382.049.77-027.3

общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
общий = ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
общий = СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ