Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Бумай, Юрий Александрович - Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации
Бумай, Юрий Александрович - Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации
Книга (аналит. описание)
Автор: Бумай, Юрий Александрович
Приборостроение - 2016: Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Бумай, Юрий Александрович
Приборостроение - 2016: Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Бумай, Юрий Александрович.
Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации / Юрий Александрович Бумай, Д.И. Бринкевич, А.А. Харченко, М.Г. Лукашевич, В.С. Просолович, В.Б. Оджаев, Ю.Н. Янковский // Приборостроение - 2016: материалы 9-й Международной научно-технической конференции, 23-25 ноября 2016 года, Минск, Республика Беларусь / пред. редкол. Олег Константинович Гусев; ред. Елена Вацлавовна Гурина, Михаил Григорьевич Киселев, Михаил Александрович Князев, Н.А. Жагора, Николай Васильевич Кулешов, Александр Михайлович Маляревич, В.В. Машко, Юрий Михайлович Плескачевский, Павел Степанович Серенков, Владимир Леонтьевич Соломахо, С.А. Чижик, Константин Владимирович Юмашев, Роман Иванович Воробей, Андрей Константинович Тявловский. – Минск: БНТУ, 2016. – С.276-277. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/28918.
621.383.4
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2016г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Экспериментальная и теоретическая физика"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ПЛЕНКИ
общий = ФОТОРЕЗИСТЫ
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Бумай, Юрий Александрович.
Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при y-облучении и ионной имплантации / Юрий Александрович Бумай, Д.И. Бринкевич, А.А. Харченко, М.Г. Лукашевич, В.С. Просолович, В.Б. Оджаев, Ю.Н. Янковский // Приборостроение - 2016: материалы 9-й Международной научно-технической конференции, 23-25 ноября 2016 года, Минск, Республика Беларусь / пред. редкол. Олег Константинович Гусев; ред. Елена Вацлавовна Гурина, Михаил Григорьевич Киселев, Михаил Александрович Князев, Н.А. Жагора, Николай Васильевич Кулешов, Александр Михайлович Маляревич, В.В. Машко, Юрий Михайлович Плескачевский, Павел Степанович Серенков, Владимир Леонтьевич Соломахо, С.А. Чижик, Константин Владимирович Юмашев, Роман Иванович Воробей, Андрей Константинович Тявловский. – Минск: БНТУ, 2016. – С.276-277. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/28918.
621.383.4
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2016г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Экспериментальная и теоретическая физика"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ПЛЕНКИ
общий = ФОТОРЕЗИСТЫ
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Привязано к:
Книга
Приборостроение - 2016: материалы 9-й Международной научно-технической конференции, 23-25 ноября 2016 года, Минск, Республика Беларусь
БНТУ, 2016 г.
ISBN 978-985-550-941-8
ОХОФ, ОНЛ, ОРиЦИ, ЧЗ НР
Приборостроение - 2016: материалы 9-й Международной научно-технической конференции, 23-25 ноября 2016 года, Минск, Республика Беларусь
БНТУ, 2016 г.
ISBN 978-985-550-941-8
ОХОФ, ОНЛ, ОРиЦИ, ЧЗ НР