Электронный каталог НБ БНТУ

Электронный ресурс
Н-8239

Разработать методики и средства бесконтактной характеризации полупроводниковых структур с субмикронными слоями на основе методов зондовой электрометрии поверхности [Электронный ресурс]: отчет о НИР (заключительный) / Белорусский национальный технический университет (Минск); рук. Анатолий Лаврентьевич Жарин; исполн. Роман Иванович Воробей, Татьяна Леонидовна Владимирова, И.В. Воробей, Олег Константинович Гусев, А.В. Дубаневич, Д.В. Жигайло, Н.М. Миронович, Александр Иванович Свистун, Виталий Иванович Сопряков, Андрей Константинович Тявловский, Константин Леонидович Тявловский, Людмила Иосифовна Шадурская, Н.В. Яржембицкая, А.Н. Петлицкий, Т.В. Петлицкая, В.А. Филипеня, К.К. Кирикович, Ю.А. Красицкая. – Электрон. дан. – Минск: [б. и.], 2015. – 1 электрон. опт. диск (CD-R). - N ГР 20130572. - Систем. требования: IBM PC - совместимый ПК ; Windows 2000 и выше ; CD-ROM дисковод ; мышь. – Загл. с тит. экрана.

620.18
621.793/.795
620.179.118.7.05
539.21:537.86

общий = ПОЛУПРОВОДНИКИ
общий = ЭЛЕКТРОМЕТРИЯ