Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Солодуха, В.А. - Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии

Солодуха, В.А. - Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии

Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии

Статья
Автор: Солодуха, В.А.
Наука и техника. Серия 2. Строительство. Серия 3. Электронные системы: Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии
Depth Measurement of Disrupted Layer on Silicon Wafer Surface using Auger Spectroscopy Method
б.г.
ISBN отсутствует

полный текст

На полку

Статья

Солодуха, В.А.
Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии = Depth Measurement of Disrupted Layer on Silicon Wafer Surface using Auger Spectroscopy Method / В.А. Солодуха, А.И. Белоус, Г.Г. Чигирь // Наука и техника. Серия 2. Строительство. Серия 3. Электронные системы = Science & Technigue: международный научно-технический журнал / гл. ред. Борис Михайлович Хрусталев; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск). – 2016. – Т.15 N4. – С.329-334. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/24690.

621.3.049.77:004.58

общий = БД Техника
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = НАНОТЕХНОЛОГИИ