Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Белогуров, Е.А. - Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране
Белогуров, Е.А. - Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране
Статья
Автор: Белогуров, Е.А.
Нано- и микросистемная техника: Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Белогуров, Е.А.
Нано- и микросистемная техника: Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Белогуров, Е.А.
Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране / Е.А. Белогуров, Вячеслав Владимирович Хатько, Г.Г. Горох, А.И. Захлебаева, Ольга Геннадьевна Реутская, Игорь Александрович Таратын // Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал / гл. ред. П.П. Мальцев; учредитель Издательство "Новые технологии". – 2015. – N6. – С. 34-39. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/43156. - Номера журнала нет в фонде библиотеки.
В статье представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора.
621.382.049.77
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2015г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
общий = ОКСИД АЛЮМИНИЯ
Белогуров, Е.А.
Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране / Е.А. Белогуров, Вячеслав Владимирович Хатько, Г.Г. Горох, А.И. Захлебаева, Ольга Геннадьевна Реутская, Игорь Александрович Таратын // Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал / гл. ред. П.П. Мальцев; учредитель Издательство "Новые технологии". – 2015. – N6. – С. 34-39. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/43156. - Номера журнала нет в фонде библиотеки.
В статье представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора.
621.382.049.77
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2015г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
общий = ОКСИД АЛЮМИНИЯ