Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Козейкин, Б.В. - Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по д...
Козейкин, Б.В. - Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по д...
Статья
Автор: Козейкин, Б.В.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по д...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Козейкин, Б.В.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по д...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Козейкин, Б.В.
Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по данным отечественной и зарубежной печати 1965-1988 гг.) / Б.В. Козейкин, В.В. Перинский, А.И. Фролов, Б.А. Маренко, Ю.Н. Юрасов // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1989. – Вып.2. – С. 1-66.
621.3.049.77
общий = БД Информационные издания
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КЛАСТЕРЫ (хим.)
Козейкин, Б.В.
Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем (по данным отечественной и зарубежной печати 1965-1988 гг.) / Б.В. Козейкин, В.В. Перинский, А.И. Фролов, Б.А. Маренко, Ю.Н. Юрасов // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1989. – Вып.2. – С. 1-66.
621.3.049.77
общий = БД Информационные издания
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КЛАСТЕРЫ (хим.)