Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Гуляев, Ю.В. - Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимал...
Гуляев, Ю.В. - Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимал...
Статья
Автор: Гуляев, Ю.В.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимал...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Гуляев, Ю.В.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимал...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Гуляев, Ю.В.
Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978-1986 гг.) / Ю.В. Гуляев, Р.К. Яфаров // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1989. – Вып.7. – С.1-51.
621.3.049.77.002:776
общий = БД Информационные издания
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
общий = СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ
Гуляев, Ю.В.
Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978-1986 гг.) / Ю.В. Гуляев, Р.К. Яфаров // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1989. – Вып.7. – С.1-51.
621.3.049.77.002:776
общий = БД Информационные издания
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
общий = СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ