Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Турилина, Л.С.
Многоуровневая металлизация интегральных микросхем и проблемы ее надежности / Л.С. Турилина, И.Н. Рубцов. – Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983. – (Обзоры по электронной технике. Серия 2, Полупроводниковые приборы).
Книга
621.3 Т88

Турилина, Л.С.
Ч.2 : Материалы для многоуровневых межсоединений интегральных микросхем : (реферативно-аналитический обзор по данным отечественной и зарубежной печати) / Л.С. Турилина, И.Н. Рубцов. – Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983. – 32 с. : ил. – (Обзоры по электронной технике ; вып.6(956). Серия 2, Полупроводниковые приборы). – . : 0.29.

621.382.049.77.002:621.793(048.8)

общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = МАТЕРИАЛЫ
общий = МЕТАЛЛИЗАЦИЯ