Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 Ф50

Физико-технологические особенности ионного легирования монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия для монолитных СВЧ устройств : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976-1982 гг.) / Б.В. Козейкин, В.В. Перинский, Е.Б. Соколов, В.У. Бахтиозин, С.А. Молодежникова. – Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983. – 49 с. : ил. – (Обзоры по электронной технике ; вып.5(933). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) : 0.38.

621.315.592.029.6.002:546.681`19(048.8)

общий = СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ