Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 С50

Смирнов, С.А.
Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки с индивидуальной (поштучной) обработкой пластин: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1984 годы) / С.А. Смирнов, П.Р. Шефер. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1985. – 52 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.11(1123). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) . - На тит. л. авт. не указаны: 0.60.

621.382.049.77.002(048.8)

общий = ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ПЛАЗМОХИМИЯ
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ПЛАСТИНЫ