Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Рябов, С.Н. - Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления
Рябов, С.Н. - Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления
Книга
Автор: Рябов, С.Н.
Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления : (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970-1981 гг.)
Серия: Обзоры по электронной технике
Издательство: ЦНИИ "Электроника", 1981 г.
ISBN отсутствует
Автор: Рябов, С.Н.
Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления : (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970-1981 гг.)
Серия: Обзоры по электронной технике
Издательство: ЦНИИ "Электроника", 1981 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Книга
621.3 Р98
Рябов, С.Н.
Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления: (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970-1981 гг.) / С.Н. Рябов, С.А. Кутолин, Н.И. Бойкин. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1981. – 72 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.20(844). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) . - Авт. указаны на обл.: 0.75.
621.382.049.77.002(048.8)
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
621.3 Р98
Рябов, С.Н.
Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления: (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970-1981 гг.) / С.Н. Рябов, С.А. Кутолин, Н.И. Бойкин. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1981. – 72 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.20(844). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) . - Авт. указаны на обл.: 0.75.
621.382.049.77.002(048.8)
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ОХОФ | 1 | 1 | 1 | Заказать |