Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Бакун, А.В.
Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов: (реферативно-аналитический обзор): [в 2 ч.] / А. В. Бакун, В. В. Щеглова. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1974. – (Обзоры по электронной технике. Серия: Полупроводниковые приборы) .
Книга
621.3 Б19

Ч. 2 : . – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1974. – 68 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.5(203). Серия: Полупроводниковые приборы) . - .: 0.41.

621.382.002
621.382.049.77

общий = ДИОКСИД КРЕМНИЯ
общий = ПЛЕНКИ
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА