Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме / С.А. Ашинов, И.Г. Блинов, Е.А. Деулин, Ю.Я. Мелехин, Ю.А. Хруничев. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1978. – (Обзоры по электронной технике. Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) .
Книга
621.3 А64

Ч.2 : Технологический процесс изготовления тонких пленок - основа проектирования УВН: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977 гг.) / С.А. Ашинов, И.Г. Блинов, Е.А. Деулин, Ю.Я. Мелехин, Ю.А. Хруничев. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1978. – 69 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.13(565). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) : 0.66.

621.382.049.77-416.002

общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ