Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. – Минск : Интегралполиграф, 2013. – ISBN 978-985-684-543-0.
Книга
621.3 Б17

Т. 1 : / О. Ю. Наливайко [и др.] ; под ред. А. С. Турцевича. – 2013. – 703 с. : ил. – . – ISBN 978-985-684-544-7 : 12.20.

ГРНТИ 47.33.31
621.382.2/.3.049.77

общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Автоматизация и технологическое оборудование" : Микропроцессорная техника