Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Мадвейко, С.И. - Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фотор...
Мадвейко, С.И. - Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фотор...
Автореферат
Автор: Мадвейко, С.И.
Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фотор... : автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.27.06
2013 г.
ISBN отсутствует
Автор: Мадвейко, С.И.
Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фотор... : автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.27.06
2013 г.
ISBN отсутствует
На полку
Автореферат
А-36912
Мадвейко, С.И.
Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев: автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.27.06 / С.И. Мадвейко; кол. авт. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск). – Минск, 2013. – 25 с.: ил. - Часть текста бел., англ.
общий = СВЧ-РЕЗОНАТОРЫ
общий = ПЛАЗМОХИМИЯ
общий = МАГНЕТРОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ
А-36912
Мадвейко, С.И.
Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев: автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.27.06 / С.И. Мадвейко; кол. авт. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск). – Минск, 2013. – 25 с.: ил. - Часть текста бел., англ.
общий = СВЧ-РЕЗОНАТОРЫ
общий = ПЛАЗМОХИМИЯ
общий = МАГНЕТРОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ЧЗ НР | 1 | - | - | Недоступно |