Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Русецкий, В.А. - Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных п...

Русецкий, В.А. - Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных п...

Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных п...

Статья
Автор: Русецкий, В.А.
Наука и техника: Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных п...
б.г.
ISBN отсутствует

полный текст

На полку

Статья

Русецкий, В.А.
Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных процессов фотолитографии / В.А. Русецкий // Наука и техника = Science & Technigue: международный научно-технический журнал / гл. ред. Федор Алексеевич Романюк; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск). – 2013. – N4. – С.43-48. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/5496.

Приводятся результаты разработки нового подхода к изготовлению оригиналов топологии на фотошаблонах

общий = БД Техника
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ