Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Голод, И.А. - Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака...
Голод, И.А. - Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака...
Статья
Автор: Голод, И.А.
Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы: Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Голод, И.А.
Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы: Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Голод, И.А.
Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование / И.А. Голод, С.Ф. Девятова, В.Г. Ерков, А.А. Лихачев, О.И. Семенова // Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1988. – Вып.1. – С. 1-43.
621.315.592:546.28:621.793.16
общий = БД Информационные издания
общий = НИТРИД КРЕМНИЯ
Голод, И.А.
Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование / И.А. Голод, С.Ф. Девятова, В.Г. Ерков, А.А. Лихачев, О.И. Семенова // Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1988. – Вып.1. – С. 1-43.
621.315.592:546.28:621.793.16
общий = БД Информационные издания
общий = НИТРИД КРЕМНИЯ
Привязано к:
Выпуск
"Электроника", институт (Москва)
Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы Вып.1
ЦНИИ "Электроника", 1988 г.
ISBN отсутствует
ЧЗ ИИ
"Электроника", институт (Москва)
Обзоры по электронной технике. Серия 2: Полупроводниковые приборы Вып.1
ЦНИИ "Электроника", 1988 г.
ISBN отсутствует
ЧЗ ИИ