Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Проблемы литографии в микроэлектронике
Проблемы литографии в микроэлектронике
Книга
Автор:
Проблемы литографии в микроэлектронике
Серия: Труды Института общей физики
Издательство: Наука, 1987 г.
ISBN отсутствует
Автор:
Проблемы литографии в микроэлектронике
Серия: Труды Института общей физики
Издательство: Наука, 1987 г.
ISBN отсутствует
Книга
621.3 П78
Проблемы литографии в микроэлектронике / отв. ред. Т.М. Махвиладзе. – Москва: Наука, 1987. – 149 с.: ил. – (Труды Института общей физики / Академия наук СССР; Гл. ред. А.М. Прохоров, ISSN 0233-9390; т.8) : 1.90.
621.382.049.77.002(082)
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ЛИТОГРАФИЯ
общий = ТРАВЛЕНИЕ
621.3 П78
Проблемы литографии в микроэлектронике / отв. ред. Т.М. Махвиладзе. – Москва: Наука, 1987. – 149 с.: ил. – (Труды Института общей физики / Академия наук СССР; Гл. ред. А.М. Прохоров, ISSN 0233-9390; т.8) : 1.90.
621.382.049.77.002(082)
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ЛИТОГРАФИЯ
общий = ТРАВЛЕНИЕ