Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Амирханов, А.В. - Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС

Амирханов, А.В. - Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС

Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС

Статья
Автор: Амирханов, А.В.
Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия: Приборостроение: Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Амирханов, А.В.
Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС / А.В. Амирханов, А.А. Гладких, В.В. Макарчук, А.Г. Пшенников, В.А. Шахнов // Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия: Приборостроение: научно-теоретический и прикладной журнал / гл. ред. В.А. Матвеев. – 2012. – N2. – С.20-36.

Рассмотрены особенности технологической операции химико-механической планаризации при формировании межслойной изоляции в СБИС

общий = БД Техника
общий = ЭЛЕКТРОННЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ МАШИНЫ
общий = МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = МОДЕЛИРОВАНИЕ