Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Войцеховский, А.В. - Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона
Войцеховский, А.В. - Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона
Статья
Автор: Войцеховский, А.В.
Нано- и микросистемная техника: Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Войцеховский, А.В.
Нано- и микросистемная техника: Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Войцеховский, А.В.
Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона / А.В. Войцеховский, С.Н. Несмелов, Н.А. Кульчицкий, А.А. Мельников // Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал / гл. ред. П.П. Мальцев; учредитель Издательство "Новые технологии". – 2011. – N2. – С.41-47.
Рассмотрены особенности технологии создания неохлаждаемых микроболометрических детекторов на основе пленок поликристаллического силицида германия
621.315.592
общий = БД Техника
общий = БОЛОМЕТРЫ
общий = ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
общий = ИНФРАКРАСНЫЙ ДИАПАЗОН
Войцеховский, А.В.
Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона / А.В. Войцеховский, С.Н. Несмелов, Н.А. Кульчицкий, А.А. Мельников // Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал / гл. ред. П.П. Мальцев; учредитель Издательство "Новые технологии". – 2011. – N2. – С.41-47.
Рассмотрены особенности технологии создания неохлаждаемых микроболометрических детекторов на основе пленок поликристаллического силицида германия
621.315.592
общий = БД Техника
общий = БОЛОМЕТРЫ
общий = ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
общий = ИНФРАКРАСНЫЙ ДИАПАЗОН