Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
Спецномер методички 3636
621.3 М34

Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур: [лабораторные работы для специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы"] / кол. авт. Белорусский национальный технический университет (Минск). Кафедра "Интеллектуальные системы"; сост. А.В. Сергейченко, А.А. Шевченок. – Минск: БНТУ, 2009. – 80 с.: ил. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/4981. - ISBN 978-985-525-200-0: 887.00.

ГРНТИ 47.33.31
621.382.049.76(076.5)
621.315.592:669.782-172:621.794(076.5)

общий = МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
общий = СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
общий = КАНТИЛЕВЕРЫ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Технологии микросистемной техники" : Сенсоры и сенсорные микросистемы
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Электроника и сенсорные системы" : Сенсоры и сенсорные системы
дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Материаловедение" : Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур