Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Аваков, С.М. - Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэле...
Аваков, С.М. - Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэле...
Автореферат
Автор: Аваков, С.М.
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэле... : автореферат диссертации ... д-ра техн. наук : 05.27.06
2008 г.
ISBN отсутствует
Автор: Аваков, С.М.
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэле... : автореферат диссертации ... д-ра техн. наук : 05.27.06
2008 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
А-35841
Аваков, С.М.
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: автореферат диссертации ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / С.М. Аваков; кол. авт. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск). – Минск, 2008. – 42 с.: ил.
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ТОПОЛОГИЯ
общий = СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ФОТОШАБЛОНЫ
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
А-35841
Аваков, С.М.
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: автореферат диссертации ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / С.М. Аваков; кол. авт. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск). – Минск, 2008. – 42 с.: ил.
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ТОПОЛОГИЯ
общий = СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ФОТОШАБЛОНЫ
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
---|---|---|---|---|
ЧЗ НР | 1 | - | - | Недоступно |