| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Мехатроника | 19 |
| 1. Околов, Андрей Ромуальдович. Программное обеспечение промышленных роботов : учебно-методическое пособие для студентов учреждений высшего образования по специальностям 1-53 01 01 "Автоматизация технологических процессов и производств", 1-54 01 06 "Промышленные роботы и робототехнические комплексы" / А. Р. Околов, Ю. Н. Матрунчик ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Робототехнические системы". — Минск : БНТУ, 2021. — 65, [1] с. : ил., табл. — Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/91428. — 5293. — ISBN 9789855832974 : 0.75. | 1.00 |
| 2. Камлюк, В.С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника" / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : РИПО, 2022. — 266 с. : ил., табл., схемы. — (Профессиональное образование) . — Содерж.: Оборудование для изготовления фотошаблонов ; Технологическая схема изготовления фотошаблонов ; Генератор изображений лазерный многоканальный ЭМ-5289 ; Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-6329 ; Установка лазерного устранения дефектов шаблонов ЭМ-5001 ; Фотоповторитель ЭМ-5062М ; Установка контактного размножения металлизированных и эмульсионных фотошаблонов ЭМ-583 ; Установка отмывки шаблонов УОФ 153А (ЩЦМЗ.189.001) ; Оборудование для совмещения и экспонирования ; Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026АМ ; Установка совмещения и проекционного экспонирования Nikon NSR-2005i8A ; Оборудование для обработки пластин в плазме ; Установка ионно-плазменного травления GIR-260 ; Установка группового плазмохимического травления полупроводниковых пластин 08ПХТ-150/6-006М2 ; Оборудование для получения диэлектрических и поликристаллических слоев ; Горизонтальная диффузионная печь SVFUR-FP ; Модульная вертикальная печь А400ХТ ; Стационарный одноканальный измеритель микровлажности газов (гигрометр) ИВГ-1-С-2А ; Установка осаждения диэлектрических слоев «Изоплаз-150» ; Установка термокомпрессионного окисления в парах воды «Термоком-М» ; Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния «Изотрон 4-150» ; Оборудование для сборки и заключительных операций производства интегральных схем ; Установка монтажа кристаллов в корпус 2100 xP/sD/FC Besi ; Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085-14М ; Системы плазменной очистки YES-G ; Установка шариковой микросварки проволочных выводов IConn ; Кластерная система прессования на основе мехатронных модулей Fico AMS-i 306 ; Зондовая установка ЭМ-6190А ; Стенд для проведения электротермотренировки. — ISBN 9789858950323 : 13.60. | 0.84 |
|