| 1. Драгунов, В.П. Основы наноэлектроники : [учебное пособие для вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника", специальностям "Микроэлектроника и твердотельная электроника", "Микросистемная техника"] / В.П. Драгунов. — Москва : Логос, 2006. — 494 с. : ил. — (Новая университетская библиотека) . — ISBN 5-9870405-4-X : 29463.00. | 1.00 |
| 2. Данилин, Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б.С. Данилин. — Москва : Энергоатомиздат, 1989. — 327 с. : ил. — ISBN 5-283-03939-0 : 2.30. | 1.00 |
| 3. Поляков, А.А. Технология керамических радиоэлектронных материалов / А.А. Поляков. — Москва : Радио и связь, 1989. — 200 с. : ил. — ISBN 5-256-00322-4 : 0.80. | 0.50 |
| 4. Крапухин, В.В. Технология материалов электронной техники : теория процессов полупроводниковой технологии : [учебник для вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника" и специальности "Материалы и компоненты твердотельной электроники"] / В.В. Крапухин. — Изд. 2-е, перераб. и доп. — Москва : МИСИС, 1995. — 492 с. : ил. — ISBN 5-87623-004-9 : 1602.00. | 1.00 |
| 5. Готра, З.Ю. Технология микроэлектронных устройств : справочник / З.Ю. Готра. — Москва : Радио и связь, 1991. — 528 с. : ил. — ISBN 5-256-00699-1 : 29000.00. | 1.00 |
| 6. Таиров, Ю.М. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов : [учебник для вузов по специальностям "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники", "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"] / Ю.М. Таиров. — Изд. 2-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1990. — 423 с. : ил. — ISBN 5-06-001032-5 : 1.30. | 1.00 |
| 7. Таиров, Ю.М. Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов [т.е. материалов] : учебник для вузов / Ю.М. Таиров. — Изд. 3-е, стереотип. — СПб. : Лань, 2002. — 423 с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) . — На пер. загл.: Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. — ISBN 5-8114-0438-7 : 21100.00. | 1.00 |
| 8. Черняев, В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА : [учебник для вузов по специальности "Конструирование и производство РЭА"] / В.Н. Черняев. — Москва : Высшая школа, 1987. — 375 с. : ил. : 1.30. | 1.00 |
| 9. Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии : пер. с / Ивор Броудай. — Москва : Мир, 1985. — 494 с. : ил. : 2.60. | 1.00 |
| 10. Аброян, И.А. Физические основы электронной и ионной технологии : [учебное пособие для специальностей электронной техники вузов] / И.А. Аброян. — Москва : Высшая школа, 1984. — 320 с. : ил. — (Для высших учебных заведений) : 0.90. | 1.00 |