| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС | --- |
| 1. Батавин, В.В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур / В.В. Батавин. — Москва : Радио и связь, 1985. — 264 с. : ил. — (Измерения в электронике) : 1.10. | 0.55 |
| 2. Павлов, Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов : [учебник для вузов по специальности "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"] / Л.П. Павлов. — Изд. 2-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1987. — 239 с. : ил. — (Для высших учебных заведений) : 0.85. | 0.55 |
| 3. Белоус, А.И. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. — Москва : Техносфера, 2024. — 618 с. : ил., цв. ил., схемы, табл. — (Мир электроники ; VII-81) . — Содерж.: Иллюстрированное введение в проблемы МЭМС ; Датчики силы и крутящего момента ; Датчики давления ; МЭМС-актюаторы: классификация, принципы функционирования ; Микромеханические микродвигатели и МЭМС-транспортеры ; МЭМС-акселерометры: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-гироскопы: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-устройства генерирования и аккумулирования энергии ; Основы технологии изготовления МЭМС ; Технологии и конструкции оптических МЭМС ; Методы и технологии корпусирования МЭМС-устройств ; Основы проектирования МЭМС ; Методологические основы организации процесса испытаний МЭМС ; Основные области применения МЭМС в автомобилях ; Биомедицинские приложения МЭМС ; СВЧ-приложения МЭМС-технологий ; Наноэлектромеханические системы (НЭМС) ; Инерциальные навигационные системы на основе МЭМС-датчиков. — ISBN 9785948366883 : 66.0. | 0.24 |
|