Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Knigob Matieres
Печать
/Упрощенная форма/Экспорт (Excel)
Дисциплина: Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС
| № | Дисциплина | Кафедра | Цикл | Студ. осен. | Студ. весн. | Курс | Сем. | ||||||
| 1 | Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС | Микро- и нанотехника | Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС : | 0 | 62 | 3, 4 | 6, 8 | ||||||
| № | Учебная литература | Гриф | Год | Экз. | Осенний сем. | Весенний сем. | ∑ КО | ||||||
| Дисц. | Студ. | КО | Дисц. | Студ. | КО | ||||||||
| 1 | Батавин, В.В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур / В.В. Батавин. — Москва : Радио и связь, 1985. — 264 с. : ил. — (Измерения в электронике) : 1.10. | 1985 | 6 | 0 | 0 | 1.00 | 2 | 62 | 0.10 | 0.55 | |||
| 2 | Павлов, Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов : [учебник для вузов по специальности "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"] / Л.П. Павлов. — Изд. 2-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1987. — 239 с. : ил. — (Для высших учебных заведений) : 0.85. | 1987 | 6 | 0 | 0 | 1.00 | 1 | 62 | 0.10 | 0.55 | |||
| 3 | Белоус, А.И. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. — Москва : Техносфера, 2024. — 618 с. : ил., цв. ил., схемы, табл. — (Мир электроники ; VII-81) . — Содерж.: Иллюстрированное введение в проблемы МЭМС ; Датчики силы и крутящего момента ; Датчики давления ; МЭМС-актюаторы: классификация, принципы функционирования ; Микромеханические микродвигатели и МЭМС-транспортеры ; МЭМС-акселерометры: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-гироскопы: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-устройства генерирования и аккумулирования энергии ; Основы технологии изготовления МЭМС ; Технологии и конструкции оптических МЭМС ; Методы и технологии корпусирования МЭМС-устройств ; Основы проектирования МЭМС ; Методологические основы организации процесса испытаний МЭМС ; Основные области применения МЭМС в автомобилях ; Биомедицинские приложения МЭМС ; СВЧ-приложения МЭМС-технологий ; Наноэлектромеханические системы (НЭМС) ; Инерциальные навигационные системы на основе МЭМС-датчиков. — ISBN 9785948366883 : 66.0. | 2024 | 20 | 4 | 83 | 0.24 | 8 | 82 | 0.24 | 0.24 | |||
| Итого по дисциплине : Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС | 32 | --- | 0.15 | 0.15 | |||||||||