| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Технологии микросенсорных систем и интегральных схем | 0 |
| 1. Наноэлектроника : теория и практика : учебник для студентов высших учебных заведений по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", "Квантовые информационные системы", "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике" / ; [В. Е. Борисенко и др.]. — 2-е издание, переработанное и дополненное. — Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2023. — 366 с. : ил., табл., схемы, граф. — (Учебник для высшей школы) . — Содерж.: Физические основы наноэлектроники ; Фундаментальные явления в низкоразмерных структурах ; Квантовое ограничение ; Баллистический транспорт носителей заряда ; Туннелирование носителей заряда ; Спиновые эффекты ; Элементы низкоразмерных структур ; Свободная поверхность и межфазные границы ; Сверхрешетки ; Моделирование атомных конфигураций ; Структуры с квантовым ограничением, создаваемым внутренним электрическим полем ; Квантовые колодцы ; Модуляционно-легированные структуры ; Дельта-легированные структуры ; Структуры с квантовым ограничением, создаваемым внешним электрическим полем ; Структуры металл/диэлектрик/полупроводник ; Структуры с расщепленным затвором ; Методы формирования наноэлектронных структур ; Традиционные методы формирования пленок ; Химическое осаждение из газовой фазы ; Молекулярно-лучевая эпитаксия ; Электрохимическое осаждение металлов и полупроводников ; Электрохимическое оксидирование металлов и полупроводников ; Методы, основанные на использовании сканирующих зондов ; Атомная инженерия ; Зондовые методы формирования наноструктур ; Нанолитография ; Нанопечать ; Саморегулирующиеся процессы ; Самосборка ; Самоорганизация в объемных материалах ; Самоорганизация при эпитаксии ; Формирование пленок Ленгмюра-Блоджетт ; Формирование и свойства наноструктурированных материалов ; Пористый кремний ; Пористый оксид алюминия ; Пористые оксиды тугоплавких металлов ; Углеродные наноструктуры ; Перенос носителей заряда в низкоразмерных структурах и приборы на их основе ; Транспорт носителей заряда вдоль потенциальных барьеров ; Интерференция электронных волн ; Вольтамперные характеристики низкоразмерных структур ; Квантовый эффект Холла ; Туннелирование носителей заряда через потенциальные барьеры ; Спин-зависимый транспорт носителей заряда ; Гигантское магнитосопротивление ; Спин-контролируемое туннелирование ; Управление спинами носителей заряда в полупроводниках ; Эффект Кондо ; Спинтронные приборы. — ISBN 9785996310159 : 20.00. | --- |
| 2. Родионов, Ю.А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Издание 2-е, стер. — Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2022. — 218 с. : ил., табл., схемы, граф. — (Высшее образование) . — ISBN 9785811495665 : 50.10. | --- |
|