Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Knigob Matieres
Печать
/Упрощенная форма/Экспорт (Excel)
Дисциплина: Физические основы сенсорики и применения сенсорных микросистем
| № | Дисциплина | Кафедра | Цикл | Студ. осен. | Студ. весн. | Курс | Сем. | ||||||
| 1 | Физические основы сенсорики и применения сенсорных микросистем | Микро- и нанотехника | Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Специальные естественнонаучные и технические дисциплины" (магистратура) | 0 | 0 | 1, 2 | 1, 2, 3 | ||||||
| № | Учебная литература | Гриф | Год | Экз. | Осенний сем. | Весенний сем. | ∑ КО | ||||||
| Дисц. | Студ. | КО | Дисц. | Студ. | КО | ||||||||
| 1 | Гридчин, А.В. Микродатчики и микросистемы : краткий курс лекций : учебное пособие / А. В. Гридчин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники]. — Новосибирск : НГТУ, 2021. — 224, [1] с. : ил. — Содерж.: Общие понятия о микросистемах ; Введение в микросистемную технику ; Сенсор как измерительный прибор ; Основы проектирования микросистем ; Компьютерное моделирование сенсоров и микросистем ; Идеология моделирования в ANSYS ; Механические сенсоры и микросистемы ; Базовые принципы измерения давления и приборы на их основе ; Давление и его измерение ; Тензорезистивные сенсоры давления ; Емкостные сенсоры давления ; Акселерометры на основе кремния ; Другие механические сенсоры и микросистемы ; Ключи, переключаемые давлением ; Резонансные сенсоры давления ; Микросистемные микрофоны ; Тензорезистивные микрофоны ; Емкостные микрофоны ; Пьезоэлектрические микрофоны ; FET-микрофоны ; Тактильные сенсоры ; Введение в микрофлюидные системы ; Расходомеры ; Сенсоры плотности и вязкости ; Клапаны ; Пневматические клапаны ; Термопневматические клапаны ; Пьезоэлектрические клапаны ; Электростатические клапаны ; Микромеханические насосы ; Термические сенсоры и микросистемы ; Механизмы теплообмена ; Электротепловая аналогия ; Термические газовые сенсоры ; Феноменологическое описание конвективного теплообмена ; Критерии подобия ; Термоанемометры с металлической нитью ; Термоанемометры из поликристаллического кремния ; Термические вакуумметры ; Конструктивные особенности манометров Пирани ; Оптические сенсоры и микросистемы ; Источники и приемники излучения: основные термины и определения ; Фотоэлектрические сенсоры прямого действия ; Фоторезисторы ; Фотодиоды ; Солнечные ячейки ; Лавинные диоды (ЛФД) ; МДП-фотодиоды (диоды Шоттки) ; Фотоэлектрические сенсоры непрямого действия ; Термопары ; Пирометры ; Болометры ; Тепловизоры ; Ячейки Голея ; Магнитные сенсоры и микросистемы ; Сенсоры Холла и магниторезисторы ; Магниторезистивный эффект ; Магнитные диоды и транзисторы ; Магнитодиоды ; Магнитотранзисторы ; Двухколлекторные магнитотранзисторы ; Полевые магнитотранзисторы ; Химические сенсоры и микросистемы ; Сенсоры прямого действия ; Каталитические детекторы газа ; Металлооксидные сенсоры ; Электрохимические сенсоры ; Эластомерные химические сенсоры ; Химические полевые транзисторы ; Составные химические сенсоры ; Микрокалориметры ; Оптические химические сенсоры ; Биохимические сенсоры ; Гравиметрические сенсоры ; Энзимные сенсоры ; Общие принципы химических измерений ; Жидкостная и газовая хроматография ; Масс-спектрометрия ; Сенсоры влажности ; Конденсационный гигрометр ; Сорбционные гигрометры ; Сенсоры ядерного излучения ; Альфа-излучение ; Бета-излучение ; Гамма-излучение ; Нейтронное излучение ; Детекторы ядерного излучения ; Сцинтилляционные счетчики ; Счетчики Гейгера-Мюллера ; Ионизационная камера ; Полупроводниковые детекторы ; Сенсоры на основе превращений ; Черенковские счетчики ; Тепловые детекторы ; Термолюминесцентные детекторы ; Коллиматоры. — ISBN 9785778245129 : 70.00. | Российская Федерация | 2021 | 10 | 3 | 64 | 0.16 | 2 | 63 | 0.16 | 0.16 | ||
| 2 | Фрайден, Дж. Современные датчики : справочник : пер. с / Дж. Фрайден. — Москва : Техносфера, 2005. — 588 с. : ил. — (Мир электроники) . — Режим доступа : http:Libsrv24.library.bntu.bytextinetFrajden_Dzhdoc1.djvu. — ISBN 5-948360-50-4 : 37640.00. | 2005 | 3 | 3 | 23 | 1.00 | 2 | 22 | 1.00 | 1.00 | |||
| 3 | Родионов, Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. — 350 с. : ил., цв. ил., схемы. — Режим доступа : https://elib.bntu.by/handle/data/4280. — Содерж.: Твердотельные ИМС ; Входной контроль полупроводниковых слитков ; Механическая обработка слитка ; Химподготовка поверхности подложки после механической обработки ; Высокотемпературное создание технологического слоя ; Кремний - основа твердотельной электроники ; Создание высокотемпературного оксида кремния ; Окисление кремния при комнатной температуре ; Физический механизм роста окисла при высокой температуре ; Модель Дила-Гроува ; Методы контроля параметров диэлектрических слоёв ; Контроль дефектности плёнок ; Создание газофазного эпитаксиального слоя кремния ; Хлоридный метод ; Пиролиз моносилана ; Гетероэпитаксия кремния на диэлектрических подложках ; Перераспределение примеси при эпитаксии ; Создание термодиффузионного слоя кремния ; Механизмы диффузии примесей ; Контроль параметров диффузионных слоёв ; Низкотемпературные вакуумно-плазменные технологии и оборудование для создания технологических слоёв ; Элементы физики плазмы ; Элементы физики вакуума ; Наиболее востребованные средства откачки в микроэлектронной промышленности ; Вакуумная арматура и комплектация ; Датчики вакуума ; Молекулярно-лучевая эпитаксия ; Ионное легирование полупроводников ; Плазмохимическое травление кремния ; Анизотропия и селективность ; Осаждение диэлектрических плёнок на кремний ; Осаждение диоксида кремния ; Осаждение нитрида кремния ; Осаждение алмазоподобных плёнок ; Создание сверхтонкой мембраны ; Технология литографических процессов ; Основные свойства и состав фоторезистов ; Производственная схема фотолитографического процесса ; Подробно об экспонировании ; Основные оптические эффекты, вызывающие ухудшение рисунка ; Иммерсионная литография ; Взрывная литография ; Электронно-лучевая литография ; Рентгеновская литография ; Электронорезисты ; Нанопринтная литография ; Экстремальная ультрафиолетовая литография (EUVL) ; LIGA-процесс ; Металлизация ; Свойства плёнок алюминия ; Электродиффузия в плёнках алюминия ; Методы получения металлических плёнок ; Создание омических контактов ; Использование силицидов металлов ; Контактные узлы ; Основные технологические процессы сборки интегральных схем в корпус ; Основные конструкции корпусов ИМС ; Упрощённый маршрут изготовления микроэлектронного акселерометра ; Требования к оборудованию в технологии микро- и наноэлектроники ; Экологические проблемы в технологии микро- и наноэлектроники. — ISBN 9785972903375 : 43.00. | 2019 | 10 | 1 | 0 | 1.00 | 1 | 0 | 1.00 | 1.00 | |||
| 4 | Шалимова, К.В. Физика полупроводников : учебник / К. В. Шалимова. — Издание 4-е, стереотипное. — Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2025. — 390, [1] с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) . — ISBN 9785811409228 : 103.70. | 2025 | 10 | 2 | 63 | 0.16 | 3 | 64 | 0.16 | 0.16 | |||
| Итого по дисциплине : Физические основы сенсорики и применения сенсорных микросистем | 33 | --- | --- | --- | |||||||||