| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Микро- и наноэлектромеханика | --- |
| 1. Белоус, А.И. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. — Москва : Техносфера, 2024. — 618 с. : ил., цв. ил., схемы, табл. — (Мир электроники ; VII-81) . — Содерж.: Иллюстрированное введение в проблемы МЭМС ; Датчики силы и крутящего момента ; Датчики давления ; МЭМС-актюаторы: классификация, принципы функционирования ; Микромеханические микродвигатели и МЭМС-транспортеры ; МЭМС-акселерометры: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-гироскопы: классификация, конструкции, принципы работы ; МЭМС-устройства генерирования и аккумулирования энергии ; Основы технологии изготовления МЭМС ; Технологии и конструкции оптических МЭМС ; Методы и технологии корпусирования МЭМС-устройств ; Основы проектирования МЭМС ; Методологические основы организации процесса испытаний МЭМС ; Основные области применения МЭМС в автомобилях ; Биомедицинские приложения МЭМС ; СВЧ-приложения МЭМС-технологий ; Наноэлектромеханические системы (НЭМС) ; Инерциальные навигационные системы на основе МЭМС-датчиков. — ISBN 9785948366883 : 66.0. | 0.24 |
| 2. Родионов, Ю.А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Издание 2-е, стер. — Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2022. — 218 с. : ил., табл., схемы, граф. — (Высшее образование) . — ISBN 9785811495665 : 50.10. | 1.00 |
| 3. Родионов, Ю.А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Изд. 3-е, стер. — Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2023. — 218 с. : ил., табл., схемы, граф. — (Высшее образование) . — Содерж.: Основные компоненты химических технологий ; Деионизованная вода ; Химреактивы ; Технологические газы ; Химическая очистка поверхности ; Типы и виды загрязнений подложек и технологических слоев ; Методы контроля поверхностных загрязнений и качества химической очистки поверхности ; Традиционные методы удаления загрязнений с поверхности подложек и технологических слоев ; Химическая обработка поверхности пластин ; Последовательность применения технологических растворов для очистки веществ ; Очистка химически активных поверхностей ; Удаление фоторезиста ; Химическое травление ; Травление кремния ; Травление диоксида кремния ; Травление нитрида кремния ; Назначение пленок Si3N4 в техпроцессе изготовления интегральных микросхем ; Травление тонких металлических пленок ; Травление алюминия и его сплавов ; Травление хрома ; Травление меди и ее сплавов ; Травление никелевых слоев ; Травление пленок ванадия ; Травление многослойных покрытий ; Электрохимическое травление пленок металлов ; Плазмохимическое травление ; Химическое нанесение пленок ; Химическое осаждение пленок металла ; Электрохимическое осаждение металлов и сложных полупроводников ; Осаждение из парогазовой фазы ; Газофазная эпитаксия. — ISBN 9785507469567 : 50.10. | 1.00 |
|