Электронный каталог НБ БНТУ

Периодическое издание

Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал / гл. ред. П.П. Мальцев; учредитель Издательство "Новые технологии". – Москва: Новые технологии. - Журнал выходит ежемесячно с 1999г. - ISSN 1813-8586.
Выпуск
794932

Нано- и микросистемная техника. – 2026. – Т. 28, № 1. - Содержание: Технология формирования химически стойких микрофлюидных систем для микроэмульсионного синтеза / К. Е. Брусина, А. В. Полидаускайте, Р. Вальшина, С. П. Новикова, А. Д. Тарасенко, А. И. Никифоров, А. В. Корляков, Д. В. Королев, К. Г. Гареев, Н. О. Ситков. Гидрофобизация изолирующего диэлектрика в системах металлизации интегральных схем / Д.А. Воротынцев. Физическое атомно-слоевое осаждение (PALD), как новая технология получения наноматериалов и наногетероструктур / Н.И. Плюснин. Исследование влияния температуры финишной термообработки на оптические и фотокаталитические свойства золь-гель пленок диоксида олова / Н.Д. Якушова, А.А. Карманов, И.А. Губич, М.Г. Ситникова, И.А. Пронин. Исследование влияния паразитных элементов на погрешности преобразования быстродействующих высокоразрядных ЦАП / Д.Б. Колосков, В.П. Драгунов.