Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 Б43

Белоус, А.И.
МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. – Москва: Техносфера, 2024. – 618 с.: ил., цв. ил., схемы, табл. – (Мир электроники; VII-81) . - ISBN 9785948366883: 66.0.

В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений - микроэлектромехани-ческих систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию - от студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров - разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров -технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники. В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств. Подробно в объеме отдельных глав рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС - автомобилестроение (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения. Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).

ГРНТИ 47.14.07
ГРНТИ 47.13.11
ГРНТИ 59.31.31
ГРНТИ 59.14.19
ГРНТИ 59.14.21
621.382.049.77
681.586

дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Технологии микросистемной техники" : Прикладные аспекты и ресурсы технологий микросенсорных систем
общий = МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
общий = КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
общий = БИОМЕДИЦИНСКАЯ ТЕХНИКА
общий = СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = МИКРОАКТЮАТОРЫ
общий = ИНЕРЦИАЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ НАВИГАЦИИ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
общий = МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
общий = МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ
общий = АККУМУЛЯТОРЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ
общий = МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
общий = НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Материаловедение" : Материалы микро- и наносистемной техники
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Методы контроля и надежность микро- и наносистем" : Техника наноконтроля
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Технологии" : Технологии нано- и микросистемной техники
Коллекции = Издания работников БНТУ (ОРиЦИ)
дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Технологии микросистемной техники" : Методы контроля материалов и компонентов интегральных схем, МЭМС и НЭМС
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Специальная инженерная подготовка" : Компоненты нано- и микросистемной техники
дисциплины = Компонент учреждения высшего образования : Модуль "Электроника и сенсорные системы" : Физические основы МЭМС и НЭМС
дисциплины = Государственный компонент : Модуль "Технологии микросистемной техники" : Технологии интегральных схем, МЭМС и НЭМС
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2024г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)